Elipsometr spektrometryczny V-WASE, J.A. WOOLLAM

Elipsometr jest urządzeniem służącym do pomiaru właściwości optycznych cienkich warstw, tj. grubości d (do ~1μm) oraz współczynnika załamania n i współczynnika absorpcji k. Przyrząd wykorzystuje zjawisko polegające na zmianie polaryzacji światła padającego na próbkę z liniowej na eliptyczną po jego odbiciu. Metoda pomiaru nie jest więc inwazyjna, próbkę po pomiarze można wykorzystać do dalszych badań. Ponieważ pomiar wykorzystuje zjawisko odbicia światła wymagane jest, aby próbka była gładka tak, aby umożliwić dotarcie jak najwięcej światła do detektora. Konfiguracja aparatu zapewnia zarówno pomiary rutynowe w warunkach atmosferycznych, jak i pomiary w atmosferze odpowiedniego gazu przy termostatowanym podłożu. Można również wykonywać pomiary optyczne (x, y) z mapowaniem próbki.